超纯水是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.2MΩ*cm则称为超纯水。 超纯水系统包括4个处理系统: 预处理系统，反渗透系统，EDI(混床)系统，精处理系统。